1898年W.維恩用電場和磁場使正離子束發(fā)生偏轉(zhuǎn)時發(fā)現(xiàn)，電荷相同時，質(zhì)量小的離子偏轉(zhuǎn)得多，質(zhì)量大的離子偏轉(zhuǎn)得少。

　　1913年J.J.湯姆孫和F.W.阿斯頓用磁偏轉(zhuǎn)儀證實氖有兩種同位素[kg1]Ne和[kg1]Ne阿斯頓于1919年制成一臺能分辨一百分之一質(zhì)量單位的質(zhì)譜計，用來測定同位素的相對豐度，鑒定了許多同位素。但到1940年以前質(zhì)譜計還只用于氣體分析和測定化學(xué)元素的穩(wěn)定同位素。

　　后來，質(zhì)譜法用來對石油餾分中的復(fù)雜烴類混合物進行分析，并證實了復(fù)雜分子能產(chǎn)生確定的能夠重復(fù)的質(zhì)譜之后，才將質(zhì)譜法用于測定有機化合物的結(jié)構(gòu)，開拓了有機質(zhì)譜的新領(lǐng)域。